Mikroskopie und Mikroanalytik WiSe 2025/26: Kapitel 5 FIB-REM
Authored by Kai Donnerbauer
Science, Physics
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5 questions
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1.
MULTIPLE SELECT QUESTION
45 sec • 1 pt
Was sind Anwendungen eines FIB-REMs?
Probenherstellung von TEM-Lamellen
Cross-Section Untersuchungen
Serienproduktion von Elektronikbauteilen
Probenherstellung von Atomsondenspitzen
2.
MULTIPLE SELECT QUESTION
45 sec • 1 pt
Gallium-Emitter haben im Vergleich zu Xenon-Emitter folgende Vorteile:
Kostengünstiger
Weniger Probleme mit der Implementierung von Atomen
Weniger Strahlschädigung
Höhere erzielbare Abtragsraten
Bei gleichen Strom kleinere Strahldurchmesser erreichbar
3.
MULTIPLE CHOICE QUESTION
45 sec • 1 pt
Richtig oder falsch: Im Gegensatz zum REM kommt die FIB-Säule ohne Objektivlinse aus!
Richtig
Falsch
4.
MULTIPLE SELECT QUESTION
45 sec • 1 pt
Bei Beispiel 3 ist die Objektivspannung...?
Korrekt eingestellt
Falsch eingestellt
Am höchsten
Am niedrigsten
5.
MULTIPLE SELECT QUESTION
45 sec • 1 pt
Beispiele für Strahlschädigung sind:
Leerstellenimplantation
Amorphisierung
Temperaturbedingte Schäden
Ionenimplantation
Phasentransformation
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