Mikroskopie und Mikroanalytik WiSe 2025/26: Gastvortrag FIB-REM

Bei einer hohen Beschleunigungsspannung und einem kleinen Strom einer Elektronenquelle werden:

• Mit hoher Geschwindigkeit wenige Elektronen emittiert

• Mit niedriger Geschwindigkeit viele Elektronen emittiert

• Mit niedriger Geschwindigkeit wenige Elektronen emittiert

• Mit hoher Geschwindigkeit viele Elektronen emittiert

• Die Anzahl der emittierten Elektronen lässt sich nicht beeinflussen.

Was sind Anwendungen eines FIB-REMs?

• Probenherstellung von TEM-Lamellen

• Cross-Section Untersuchungen

• Serienproduktion von Elektronikbauteilen

• Probenherstellung von Atomsondenspitzen

Gallium-Emitter haben im Vergleich zu Xenon-Emitter folgende Vorteile:

• Kostengünstiger

• Weniger Probleme mit der Implementierung von Atomen

• Weniger Strahlschädigung

• Höhere erzielbare Abtragsraten

• Bei gleichen Strom kleinere Strahldurchmesser erreichbar

Richtig oder falsch: Im Gegensatz zum REM kommt die FIB-Säule ohne Objektivlinse aus!

• Richtig

• Falsch

Bei Beispiel 3 ist die Objektivspannung...?

• Korrekt eingestellt

• Falsch eingestellt

• Am höchsten

• Am niedrigsten

Beispiele für Strahlschädigung sind:

• Leerstellenimplantation

• Amorphisierung

• Temperaturbedingte Schäden

• Ionenimplantation

• Phasentransformation