TEL SDRM/SDRM2/F1000 introduction and comparison

1. F1000PL LF generator frequency 是多少?

• 13 Mhz

• 2.60 Mhz

• 13/40 Mhz

2. SDRM2 ESC temperature control 是幾個Zone?

• 2 個

• 4 + 1 個

• 27 + 1個

3. F1000PL ESC temperature 分幾個Area?

• 4個+F/R   

• 6個+F/R

• 5個+F/R 

4. SDRM A-RDC 分幾個Zone? 

• 3個

• 2個

• 4個

5. F1000PL magnet controller 是哪一種?

• PUC

• Moving gap

6. F1000PL 哪一個unit 可以faster gas response?    

• FRC

• Injection unit

7. SDRM2 add gas 進chamber 在哪個位置?

• Center

• Middle

• Edge

8. F1000PL add gas 可以進chamber 在哪個位置?

• Center

• Middle

• Edge

• Center or middle or edge  

9. F1000PL ESC temperature middle position 有幾個Zone?

• 4個

• 8個

• 6個

10. SDRM2 RF power control 沒有哪一種設定?  

• CW 

• LF pulse

• APTC