ПМ 9

Что из перечисленного Не является этапом фотолитографического процесса

• Изготовление макета

• Удаление материала согласно рисунку на фоторезисте

• Ионизация макета

• Формирование рисунка на фоторезисте

Что обозначено цифрой 1 на иллюстрации совмещения фотошаблонов

• Фотошаблоны

• Реперные знаки

• Пластина обрабатываемого материала

• Внешние слои МЭМС структуры

При проявлении негативного фоторезиста

• Удаляются освещенные области

• Удаляются не освещенные области

• Весь фоторезист остается не тронутым

• Весь фоторезист удаляется с поверхности пластины

Какие виды сканирующих систем применяются при электроннолучевой литографии

• Растровая и векторная

• Быстрая и медленная

• Горячая и холодная

• Сфокусированная и рассеянная

Каким образом может формироваться изображение на резисте при рентгеновской литографии

• Методом перенаправления рентгнеовских лучей

• С помощью перемещения подложки под излучателем

• Используя магнитные поля

• Используя маску с необходимым изображением

Чем характерно изотропное травление

• Травление происходит с разной скоростью, в зависимости от направления

• Травление происходит с одинаковой скоростью во всех направлениях

• Травление происходит только при определенном электрическом воздействии

• Травление происходит только при определенном температурном воздействии

От чего из перечисленного НЕ зависит скорость изотропного травления травления

• Типа травителя и его температуры

• Скорости отвода продуктов реакции и подвода реагентов

• Наличия дефектов в полупроводнике или защитной маске

• Кристаллографического направления

Каким образом распределяется скорость травления кремния по кристаллографическим направлениям?

• V[100] < V[110] < V[210] < V[211] < V[221] < V[111]

• V[100] > V[110] > V[210] > V[211] > V[221] > V[111]

• V[100] = V[110] = V[210] = V[211] = V[221] = V[111]

• Для каждой пластины кремния это соотношение будет индивидуальным

Какую форму профиля травления не возможно получить анизотропным травлением

• Полукруг

• Прямоугольник

• Трапеция

• Треугольник

На чем основан оптический способ контроля травления

• Контроль цвета отраженного от кремниевой пластины света

• Контроль цвета кремниевой пластины на просвет

• Непосредственный контроль цвета пластины

• Контроль отражающих свойств кремния